离子溅射仪，在很多外行人看来可能只是个 “不起眼的机器”，但在微电子和材料科学领域，它却是实打实的 “核心装备”—— 从 7 纳米芯片的互联电极制备，到新能源材料的表面改性，甚至是航天器件的抗辐照涂层研发，都离不开它的 “精准操控”。今天，小编就结合实际接触的客户案例…
日期：2025-06-01
纳米技术的 “原子级调控” 与微电子领域的 “高密度集成” 正深度交融 —— 从 7nm 芯片的纳米级互联结构，到柔性电子的纳米功能薄膜，均需跨领域技术工具实现性能突破。离子溅射仪凭借精准的纳米薄膜制备与表面改性能力，既承接纳米技术的材料创新成果，又赋能微电子器件的精密制…
日期：2025-04-20
当前微电子行业正面临三大核心发展趋势，而这些趋势都对 “精密刻蚀” 提出了更高要求，直接推动反应离子刻蚀机的需求增长：• 器件微型化：微电子器件尺寸从微米级向纳米级跨越（如传感器尺寸仅几十纳米），需刻蚀机实现原子级精度的材料去除；• 集成度提升：芯片集成度每 18-24 …
日期：2025-04-20
反应离子刻蚀机之所以能适配纳米技术的高精度需求，核心在于其 “物理轰击 + 化学腐蚀” 的协同工作机制，可实现对材料的 “原子级精准去除”，具体流程可拆解为三步：设备将特殊气体（如氟化物、氯化物气体）通入密闭的真空反应腔，通过射频电源施加高频电场。此时气体分子被电离，…
日期：2025-04-20
磁控溅射技术凭借薄膜成分可控、均匀性优异、附着力强等特性，已成为微电子与纳米技术领域的核心制备手段，支撑着芯片制造、纳米器件等前沿领域的创新突破。在集成电路制造中，磁控溅射承担着金属化与绝缘层制备的核心角色： · 高精度金属布线：通过溅射 Al-Cu、Cu 等合金薄膜，形成…
日期：2025-04-20
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