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磁控溅射技术在微电子和纳米技术领域的应用主要包括以下几个方面:光学领域:磁控溅射技术被广泛应用于光学薄膜的制备,如减反射膜、低辐射玻璃和透明导电玻璃等。这些薄膜在光学设备中起到重要的功能作用,提高了设备的光学性能。微电子领域:磁控溅射作为一种非热式镀…
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