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磁控溅射在超导材料的应用主要包括高温超导薄膜的制备和研究。 磁控溅射作为一种先进的薄膜沉积技术,在超导材料的研究和应用中发挥了重要作用。磁控溅射通过在低气压下进行高速溅射,有效地提高了气体的离化率,从而制备出高质量的超导薄膜。这种技术不仅实现了高速、低温、低损伤的溅射过程,而且能够制备大面积均匀的...
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