真空蒸镀工艺流程详解-关键步骤与操作指南

一、预处理

在进行真空蒸镀前，需要对材料进行预处理，以确保蒸镀效果。预处理包括清洗、干燥和表面处理等步骤。

1. 清洗：使用超声波清洗机或化学清洗剂去除材料表面的污垢和油脂。
2. 干燥：将清洗后的材料放入烘箱中，进行干燥处理，以去除水分。

二、安装与调试

将预处理后的材料安装到真空蒸镀机中，并进行调试，确保设备正常运行。

调试过程中，需要检查真空泵、加热器、蒸发源等关键部件的功能是否正常。

三、真空获得

开启真空泵，将蒸镀室抽至预定的真空度。真空度通常要求在10^-3 Pa以上。

四、加热蒸发

使用加热器对材料进行加热，使其蒸发并沉积在基底表面。

加热过程中，需要控制好温度和蒸发速率，以获得理想的膜厚和均匀性。

五、沉积与固化

在蒸发材料沉积到基底表面后，需要进行固化处理，以提高膜层的稳定性和附着力。

固化过程中，可以使用炉子或紫外线固化灯进行。

六、后处理

真空蒸镀完成后，对膜层进行后处理，以满足特定的应用要求。

后处理包括清洗、干燥、检验等步骤。