真空蒸镀过程详解-关键技术与应用

一、准备阶段

在进行真空蒸镀之前，需要对基底材料进行彻底的清洁和干燥处理，确保基底表面无油污、水分和其他污染物。还需要对蒸镀材料进行选择和准备，确保其纯度和合适的形态。

二、真空环境建立

将准备好的基底材料和蒸镀材料放入真空室中，开启真空泵，抽除室内的空气和其他气体，建立真空环境。通常，真空度需要达到10^-3 Pa或更高。

三、加热蒸发

通过加热蒸发器，将蒸镀材料加热至蒸发温度，使其蒸发成气体。加热方式可以是电阻加热、电子束加热或感应加热等。

四、材料沉积

蒸镀材料的蒸汽在真空室中自由飞行，遇到基底材料时，会沉积在其表面，形成一层均匀的薄膜。沉积速率和厚度可以通过控制蒸发速率和基底材料的移动速度来调节。

五、冷却与取出

完成薄膜沉积后，需要关闭加热器，让基底材料和蒸镀材料在真空室中冷却。待温度降低到室温后，打开真空室，取出基底材料。

六、后续处理

根据需要，对蒸镀后的薄膜进行后续处理，如退火、清洗等，以提高薄膜的性能。