在半导体制造向 14nm 及以下先进制程迈进的过程中，反应离子刻蚀机（RIE）作为 “图形化关键设备”，其单台设备功率消耗占晶圆厂总能耗的 12%-15%，且刻蚀过程中产生的挥发性有机物（VOCs）、含氟废气等污染物，成为行业绿色发展的重要挑战。微仪真空基于为国内 20 余家晶圆厂提供设…
日期：2025-05-06
磁控溅射镀膜技术，作为一种先进的薄膜制备工艺，其核心在于利用磁场对溅射过程的精确控制。在高度真空的环境中，通过巧妙地施加磁场，该技术能够引导溅射粒子在靶材表面形成高密度等离子体，进而实现薄膜的均匀且高质量的沉积。该技术之所以能够在多个领域得到广泛应用，得益于其制…
日期：2025-05-06
在半导体芯片向 7nm 及以下制程突破、纳米器件向多维度结构演进的当下，离子刻蚀机作为 “纳米级雕刻工具”，其技术迭代速度与市场布局方向，直接影响着整个高端制造产业的发展节奏。微仪真空结合一线设备服务经验与行业调研数据，从技术、市场、应用三个维度，拆解当前离子刻蚀机市…
日期：2025-05-06
氢能膜电极镀膜政策解读：磁控溅射技术的新机遇与合规要求随着《“十四五” 氢能产业发展规划》的推进，膜电极（氢能燃料电池核心部件）的需求呈爆发式增长，而磁控溅射镀膜技术因能制备 “高致密性、高导电性” 的膜电极催化层，成为行业重点关注的技术路径。但很多企业在切入该领…
日期：2025-05-06
在当今的半导体制造和纳米加工领域，离子刻蚀机作为一种重要的微细加工设备，其精确的刻蚀能力和广泛的应用范围使其成为行业内的关键工具。微仪真空小编将深入探讨离子刻蚀机的工作原理，从基础知识到高级技术，帮助读者全面理解这一技术。一、离子刻蚀机的基本原理离子刻蚀机利用高…
日期：2025-05-06
镀膜工艺所属行业的行政主管部门主要包括国家发展和改革委员会以及工业和信息化部。国家发改委承担着宏观调控与行业规划的重任，在镀膜工艺领域，负责审批重大镀膜项目，从宏观层面引导产业结构的优化调整。例如，对于新型高效镀膜生产线项目的审批，发改委依据产业发展战略，考量项…
日期：2025-05-06
在当今科技浪潮中，从 3nm 芯片到 MEMS 传感器，从量子器件到光电子元件，这些改变生活的精密产品，都离不开 “在微观世界雕刻材料” 的核心能力。离子刻蚀机就是其中的 “关键工匠”—— 它能以纳米级精度去除材料，如同用 “原子级刻刀” 勾勒微观结构，成为微电子制造、微纳加工…
日期：2025-05-02
反应离子刻蚀机的能源消耗并非单一环节，而是贯穿 “设备运行 - 工艺执行 - 辅助系统” 全流程，核心可分为四大模块，其中电力与特种气体消耗占比超 80%：刻蚀工艺的核心是 “生成等离子体 + 维持真空环境”，这两大环节需持续消耗大量电力：• 射频电源：为生成等离子体，设备需搭…
日期：2025-04-28
要理解这一转变，首先需明确实验室与工业生产对反应离子刻蚀机的需求差异，这些差异正是技术升级的核心方向： 需求维度实验室级 RIE 机工业级 RIE 机
日期：2025-04-25
在材料科学与工程领域，表面处理技术是提升材料性能、拓展应用场景的关键环节。随着科研需求向 “小批量、高精度、多场景” 转变，小型磁控溅射仪凭借 “体积紧凑、操作便捷、性能精准” 的核心优势，逐渐成为材料表面处理的 “得力助手”—— 尤其是其中的薄膜制备型磁控溅射仪，作…
日期：2025-04-20
在材料科学与工程领域，表面处理技术是提升材料性能、拓展应用场景的关键环节。随着科研需求向 “小批量、高精度、多场景” 转变，小型磁控溅射仪凭借 “体积紧凑、操作便捷、性能精准” 的核心优势，逐渐成为材料表面处理的 “得力助手”—— 尤其是其中的薄膜制备型磁控溅射仪，不…
日期：2025-04-20
在材料防护领域摸爬滚打这些年，我发现超疏水膜层是真的 “能打”—— 它不是那种徒有虚名的概念性技术，而是实实在在能解决问题的方案。咱们先把定义说清楚：超疏水膜层得满足两个硬指标，跟水的接触角得超 150°，滚动角还得低于 10°。就靠这特殊的润湿性，它既能自清洁，又能减阻…
日期：2025-04-20
在可再生能源领域，钙钛矿太阳能电池（Perovskite Solar Cells, PSC）以其卓越的太阳能转换效率（Power Conversion Efficiency, PCE）和低廉的制造成本，正逐步成为科研与工业界的焦点。这类电池采用独特的钙钛矿结构有机金属卤化物半导体作为核心吸光材料，近年来不断刷新能量转换…
日期：2025-04-20
从每天要面对雨水冲刷的车灯外壳，到频繁触摸的内饰按键，再到高温高压下运转的发动机部件，汽车上几乎每个关键零部件，都在承受着 “考验”：车灯需要高透光率和抗老化能力，内饰件要耐磨防刮还得有光泽，发动机部件更是要扛住高温腐蚀。传统的喷涂、电镀工艺，要么容易出现掉层、…
日期：2025-04-20
最近跟着技术团队去了趟工业园区的环境监测站，看到工作人员正对着一堆土壤和水样发愁 —— 传统的污染物检测方法，要么前处理复杂，要么检测限不够低，像土壤里的痕量重金属、水样中的微塑料，总是难精准定量。当时就想到，我们常用来做芯片镀膜的离子溅射仪，其实在环境监测领域也…
日期：2025-04-20
“明明是同一批靶材，咋喷出来有的亮如镜，有的暗如旧？” 喷涂车间里的灵魂拷问，想必不少人听过。对高端电子、珠宝这些 “看脸” 的行业来说，色差可不是小问题 —— 轻则产品返工，重则客户退货，损失真不小。其实色差这事儿，找对病根就能轻松解决，咱们这就扒一扒背后的 “元凶…
日期：2025-04-20
其实喷金仪就是个 “施工队”，真正决定活儿好不好的，是 “建材”—— 铂金靶材的纯度。这东西可不是越便宜越好，里面的门道能直接影响产品生死，今天就用大白话聊聊这事儿。别以为喷金仪只用来 “涂金色”，它是给高端产品做 “功能防护衣” 的。而铂金靶材，就是做这件衣服的 “…
日期：2025-04-20
从事真空设备研发多年，我们见证了离子溅射仪从 “单一工具” 到 “多功能平台” 的蜕变。今天，我们将从 “认知重构、核心应用场景、未来拓展方向” 三个维度，系统拆解它的 “隐藏技能”，清晰呈现其超越材料沉积的多元价值。离子溅射仪的核心原理是 “在真空环境中，用高能离子轰…
日期：2025-04-20
多层膜的核心价值在于 “1+1>2”—— 不同材料的薄膜按特定顺序叠加，可产生单一材料不具备的光学、电学、力学性能。从事真空设备技术研究多年，我们深知离子溅射仪是实现这种 “精准叠加” 的核心装备。今天，我们从 “技术原理、制备关键、应用价值、未来潜力” 四个维度，系统解…
日期：2025-04-20
很多看似不相关的技术领域，其实都被同一种镀膜技术串联着 —— 就像离子溅射仪，前阵子还在帮芯片客户解决电极沉积问题，这阵子又接到了硬盘厂商的技术咨询。要知道，现在主流硬盘的存储密度已经突破 1TB / 平方英寸，读写速度也朝着 300MB/s 迈进，而支撑这些突破的关键，正是离子…
日期：2025-04-20
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