在高端真空镀膜工艺中，超过半数的输入能量会转化为热能，腔体及内部组件的高温升已成为制约薄膜质量、生产效率和设备寿命的瓶颈。凭借深厚的工程经验，通过仿形流道设计、智能温控策略与模块化冷却单元的深度融合，为您提供全方位的高效热管理解决方案，确保您的镀膜设备在任何严苛的工艺下都能保持最佳工作状态。

一、挑战：为什么腔体冷却系统不容忽视？

在磁控溅射、多弧离子镀等高功率密度工艺中，持续产生的巨大热量若不能及时导出，将直接导致：

v工艺波动：腔壁高温引发气体脱附，破坏真空环境，导致膜层纯度下降、出现杂质。

v质量缺陷：基片温度失控会引发薄膜附着力降低、内应力增大、微观结构粗化，导致产品良率下降。

v设备风险：持续高温加速密封圈老化，引发真空泄漏；同时威胁传感器、分子泵等精密部件的精度与寿命。

二、我们的解决方案：三位一体的高效热管理

我们致力于将冷却系统从“辅助部件”提升为“工艺核心保障”，其设计理念围绕以下三个核心展开：

1. 仿形流道与CFD优化设计
我们摒弃了传统的简单钻孔流道。在设计阶段，我们的工程师团队即采用计算流体动力学仿真技术，对腔体及关键部件进行精确的热力学模拟。

v成果：据此设计出的多路并联仿形流道，确保了冷却液无死角高效流动，能将腔体表面最大温差控制在极低范围内（例如5℃以内），为膜厚均匀性奠定坚实基础。

v价值：从源头解决散热不均问题，提升整机性能与可靠性。

2. 模块化与精准的温控单元
我们提供灵活的冷却模块选项，以满足从常规到尖端的各类工艺需求。

v标准循环系统：满足绝大多数常规工艺的稳定散热需求。

v高精度低温冷水机组：针对高功率脉冲磁控溅射、电子束蒸发等易产生局部极端热流的工艺，该可选模块能将冷却水温精确控制在设定点（如15℃）。实践证明，此配置能显著抑制靶材的异常弧光放电，提升工艺稳定性与靶材利用率。

3. 智能化闭环控制策略
我们的冷却系统与设备主控系统深度集成，实现从“被动冷却”到“主动控温”的跨越。

v系统集成：通过分布在腔体各关键点的温度传感器，系统实时监测热状态。

v智能调节：PLC根据设定的工艺配方，通过PID算法动态调节比例调节阀的开度与冷水机组的工作状态，实现按需冷却。这不仅避免了能源浪费，更能完美匹配复杂的升温-保温工艺曲线，确保工艺的极高重复性。

三、技术亮点与客户价值

v提升品质：稳定的低温工艺环境是制备高性能、高一致性薄膜产品的前提。

v保障生产：大幅减少因设备过热导致的非计划停机，提升设备综合效率。

v降低能耗：智能温控策略避免了冷却资源的浪费，实现绿色、经济运营。

v延长寿命：有效保护设备核心部件，延长设备使用寿命，降低维护成本。

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