在科研创新的浪潮中，高精度、高效率的实验设备是科研机构不可或缺的利器，而专业的设备安装服务则是确保科研仪器发挥最优性能的关键环节。近期，深圳微仪真空技术有限公司（以下简称 “微仪真空”）凭借在真空镀膜领域的技术积淀与服务经验，为南方科技大学（以下简称 “南科大”）材料科学与工程学院，完成了VI-900 型桌面型磁控溅射镀膜仪的全套专业安装服务。从设备进场校准到工艺调试验证，微仪真空团队以严谨的流程、精准的操作，确保设备快速适配南科大科研需求，不仅彰显了微仪真空 “设备 + 服务” 一体化的专业实力，更为该校材料科学领域的实验研究注入高效动能。
一、南科大科研需求：桌面型设备的精准适配与高效落地诉求
南科大材料科学与工程学院聚焦 “柔性电子材料”“纳米功能涂层” 两大前沿研究方向，此次引入桌面型磁控溅射镀膜仪，旨在解决实验室空间有限、多组学平行实验需求迫切、学生科研操作便捷性等核心痛点：
（一）空间与场景适配需求
南科大实验室单工位面积仅 6-8㎡，且需同时容纳样品制备、表征测试等多台设备，传统落地式镀膜仪占地超 1.5㎡，难以灵活部署；而桌面型设备需严格控制尺寸（长 × 宽 × 高≤120×80×100cm），同时要兼容实验室现有 220V 民用电源，避免单独搭建高压供电系统，这对设备的集成化设计与安装的空间规划提出高要求。
（二）科研效率与操作安全需求
学院 10 个课题组需共享该设备开展实验，涵盖 “柔性基底金属电极镀膜”“纳米涂层抗氧化性能研究” 等不同课题，要求设备安装后能快速切换工艺参数，且单次调试时间≤30 分钟；同时，设备需面向本科生开放教学实验，安装过程中需同步完成安全防护装置（如真空腔门联锁、高压预警）的调试，确保学生操作安全。
（三）性能达标与数据可靠性需求
设备需满足南科大核心实验指标：镀膜均匀度偏差≤±3%、膜厚控制精度 0.1nm、极限真空度≤5×10⁻⁵Pa，安装后需通过现场制备样品并检测性能，验证设备参数是否符合科研预期，避免因安装误差导致实验数据偏差。
二、专业安装服务流程：从细节把控到性能验证
微仪真空组建专项安装团队，制定 “3 阶段 12 步” 标准化服务流程，结合南科大实验室场景与科研需求，实现设备精准落地与性能达标：
（一）前期准备：定制化方案规划（安装前 7 天）
1. 现场勘测与空间规划：团队提前赴南科大实验室，使用激光测距仪确定设备摆放位置，确保设备与周边实验台、通风橱的安全距离≥50cm，同时预留维护通道；根据实验室电源布局，制定电缆走线方案，避免与其他设备线路交叉干扰。
2. 设备预调试与配件检查：在微仪真空工厂完成设备核心部件（分子泵、溅射靶、膜厚监测仪）的预测试，确保真空系统抽速、靶位电压稳定性等关键参数达标；随设备配备定制化配件，包括适配不同样品尺寸的夹具（10×10mm 芯片至 50×50mm 柔性薄膜）、真空腔清洁工具套装，满足多场景实验需求。
3. 需求沟通与培训预案：与南科大科研团队确认实验优先级，明确安装后需优先验证的性能指标（如 “柔性 PET 基底镀铜电极” 的镀膜均匀度），并制定针对性调试方案；同时准备操作手册与培训课件，计划安装后开展 2 场专项培训（课题组负责人操作培训、学生安全操作培训）。
（二）现场安装：精准操作与安全把控（安装当天，耗时 8 小时）
1. 设备进场与定位固定：采用定制防震托盘运输设备，避免颠簸导致部件移位；通过水平仪校准设备台面，确保水平偏差≤0.5°，防止因设备倾斜影响样品台旋转精度；使用膨胀螺丝固定设备底部，避免真空系统运行时产生振动。
2. 系统集成与线路连接：分步完成真空管路（分子泵与真空腔连接）、电路系统（溅射电源、温控模块与主控单元接线）的安装，每一步均通过万用表检测线路通断，确保无短路风险；真空管路接口采用金属密封垫，涂抹高真空密封脂，减少漏气点。
3. 安全装置调试与合规检查：调试真空腔门联锁装置，确保腔门未关闭时设备无法启动溅射；设置高压预警阈值（≥500V 时触发声光报警），并与实验室紧急断电系统联动；安装完成后，邀请南科大安全管理部门现场检查，确认设备符合高校实验室安全标准。
（三）性能验证：科研级调试与数据交付（安装后 2 天）
1. 真空系统性能测试：启动分子泵，通过数字真空计实时监测真空度变化，30 分钟内达到极限真空 5×10⁻⁵Pa，持续保压 2 小时，真空度下降率≤0.1Pa/h，验证真空系统密封性达标；测试真空阀开关响应速度，确保抽真空与放气过程平稳，避免冲击样品。
2. 工艺参数调试与样品制备：根据南科大需求，调试 “柔性 PET 基底镀铜” 工艺：设置溅射功率 150W、氩气流量 20sccm、沉积时间 10 分钟，现场制备 3 组平行样品；使用台阶仪检测样品膜厚，平均厚度 100nm，偏差 ±2.5%，符合科研指标；通过四探针测试仪测量电极电阻率，结果稳定在 1.7×10⁻⁸Ω・cm，与理论值偏差≤5%。
3. 操作培训与文档交付：为南科大科研人员开展实操培训，涵盖 “设备开机流程、工艺参数设置、常见故障排查（如真空度不达标、靶位无辉光）” 等内容，培训后通过实操考核确保课题组负责人能独立操作；交付全套技术文档，包括设备安装报告（含真空测试曲线、膜厚检测数据）、保修卡、配件清单，明确后续维护周期（分子泵每 2000 小时保养、溅射靶每 500 次使用后更换）。
三、服务价值落地：赋能科研与教学双向发展
此次专业安装服务不仅实现设备快速落地，更直接推动南科大材料科学研究与教学工作的高效开展：
（一）科研效率显著提升
设备安装后，南科大课题组单次实验准备时间从传统设备的 1 小时缩短至 20 分钟，10 个课题组共享使用时，设备日均运行时长从 8 小时提升至 12 小时，每月可完成 60 组样品制备，较之前依赖外校设备测试的周期（平均 7 天 / 组）缩短 80%；在 “柔性电子器件研发” 课题中，团队利用设备快速筛选出最优电极镀膜厚度（80nm 铜层），使器件弯曲 1000 次后的导电性能保留率提升至 90%，相关实验数据已用于撰写 SCI 论文。
（二）教学实践安全保障
设备安全防护装置经调试后，实现 “三重保护”：真空腔门未关严时自动切断溅射电源、高压模块异常时触发紧急停机、真空系统超压时自动放气，至今已支持 50 余名本科生完成 “磁控溅射原理与样品制备” 实验，操作零安全事故；同时，安装团队同步搭建设备操作虚拟仿真系统，学生可通过电脑模拟设备运行流程，降低实体操作失误率。
（三）长期合作基础奠定
微仪真空与南科大签订 “1 年免费维护 + 终身技术支持” 服务协议，安装后每月安排工程师远程巡检设备运行数据，每季度上门进行真空系统保养；针对南科大后续 “低温溅射工艺研发” 需求，已规划在设备上加装低温样品台（-196℃至室温），通过模块化升级进一步拓展设备应用场景。
四、合作意义：从设备服务到科研赋能
此次安装服务的顺利完成，不仅是微仪真空 “设备 + 服务” 一体化能力的体现，更成为高校科研设备落地的标杆案例：对南科大而言，桌面型磁控溅射镀膜仪的高效安装，填补了实验室中小型镀膜设备的空白，为柔性电子、纳米材料等领域的研究提供关键实验平台；对微仪真空而言，通过深入高校科研场景，进一步优化桌面型设备的安装服务流程，为后续服务更多高校客户积累经验。
未来，微仪真空将持续完善 “定制化安装 + 本地化服务” 体系，针对高校实验室特点，推出更多适配空间小、操作便捷、性能可靠的桌面型真空镀膜设备，同时加强与科研机构的技术联动，以专业服务助力科研创新，推动材料科学、电子工程等领域的研究突破。
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