深圳微仪真空技术有限公司近日宣布,其基于工业互联网技术的“数字孪生”实验室已初步建成并投入试运行。这一创新举措旨在通过数字化与智能化手段,实现对分布在全球的磁控溅射仪、真空蒸镀设备等产品的全生命周期管理,率先在行业内开启预测性维护新模式。
让每一台设备在云端“镜像”运行
“数字孪生”即通过在物理设备上部署传感器,并利用数据建模,在虚拟空间中创建一个完全对应的“数字镜像”。微仪真空的此项工程,使其技术团队可以在总部大屏上,实时查看任一授权联网设备的运行状态,包括真空度、功率、温度、泵组负载等关键参数。
“这相当于我们为每一位客户配备了一个无形的、7x24小时在线的‘专家守护团’。”微仪真空的数字化总监解释道,“我们关注的不再是‘设备坏了再修’,而是如何‘在故障发生前预警’。”

从“被动响应”到“主动预警”的服务变革
这一模式将彻底改变传统的售后服务体系:
预测性维护:系统通过分析历史与实时数据,能智能判断如分子泵轴承磨损、真空规管精度漂移等潜在风险,并提前数周向客户和微仪服务中心发出维护提醒,帮助客户安排不停机的检修计划。
远程精准诊断:当设备出现异常时,工程师无需立即赶赴现场,可通过数字孪生体回溯运行数据,快速精准地定位问题根源,极大缩短了停机时间。
工艺稳定性监控:对于要求极高的研发和生产,系统可长期监控工艺参数的波动趋势,为用户优化工艺、保证成果的重复性提供数据支撑。
赋能客户,打造智慧实验室样板
目前,该平台已初步接入了百余台用于科研的高端溅射仪和喷金仪。未来,微仪真空计划向战略客户开放部分平台权限,使客户也能随时掌握设备的健康状态和历史工艺数据,助力其打造真正的“智慧实验室”与“无人工厂”。

微仪真空正通过自身在真空技术上的深厚积累与数字化、智能化技术的深度融合,重新定义高端装备制造业的服务标准,持续为客户创造超越期待的价值。

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